ВЛИЯНИЕ НА ВИСОКО ЕНЕРГИЙНО ИМПУЛСНО-ДЪГОВО КАТОДНО РАЗПРАШАВАНЕ ПРИ ОТЛАГАНЕ НА СВОБОДНИ ОТ ВОДОРОД ТЕТРАХЕДРАЛНИ АМОРФНИ ВЪГЛЕРОДНИ ПОКРИТИЯ (ta-C)

Abstract

Физичните свойства на отложени филми на въглеродна основа са силно зависими от съотношението на sp2 (графитоподобни) към sp3 (диамантоподобни) връзки. В “Subplantation model" на Lifshitz et al. и на Robertson, йони с достатъчна енергия при сблъскване проникват под повърхността на растящия филм, и увеличават местната плътност. Йоните с по-ниска енергия няма да могат да проникнат под повърхността и ще образуват sp2 връзки. Следователно структурата на отложените филми се определя главно от енергията на въздействието на въглеродните йони върху субстрата и последващия ефект на релаксация, свързан с температурата по време на отлагането. За това изследване филмите са отложени с помощта на импулсно-дъгова технология. Има ясни факти как скоростта на отлагане влияе върху нанотвърдостта и грапавостта на покритията. Установено е също така, че легиращи елементи могат значително да увеличат скороста на отлагане.