ВЛИЯНИЕ НА ВИСОКО ЕНЕРГИЙНО ИМПУЛСНО-ДЪГОВО КАТОДНО РАЗПРАШАВАНЕ ПРИ ОТЛАГАНЕ НА СВОБОДНИ ОТ ВОДОРОД ТЕТРАХЕДРАЛНИ АМОРФНИ ВЪГЛЕРОДНИ ПОКРИТИЯ (ta-C)

Loading...
Thumbnail Image

Date

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Бургаски свободен университет

Abstract

Физичните свойства на отложени филми на въглеродна основа са силно зависими от съотношението на sp2 (графитоподобни) към sp3 (диамантоподобни) връзки. В “Subplantation model" на Lifshitz et al. и на Robertson, йони с достатъчна енергия при сблъскване проникват под повърхността на растящия филм, и увеличават местната плътност. Йоните с по-ниска енергия няма да могат да проникнат под повърхността и ще образуват sp2 връзки. Следователно структурата на отложените филми се определя главно от енергията на въздействието на въглеродните йони върху субстрата и последващия ефект на релаксация, свързан с температурата по време на отлагането. За това изследване филмите са отложени с помощта на импулсно-дъгова технология. Има ясни факти как скоростта на отлагане влияе върху нанотвърдостта и грапавостта на покритията. Установено е също така, че легиращи елементи могат значително да увеличат скороста на отлагане.

Description

Citation

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By