ВЛИЯНИЕ НА ВИСОКО ЕНЕРГИЙНО ИМПУЛСНО-ДЪГОВО КАТОДНО РАЗПРАШАВАНЕ ПРИ ОТЛАГАНЕ НА СВОБОДНИ ОТ ВОДОРОД ТЕТРАХЕДРАЛНИ АМОРФНИ ВЪГЛЕРОДНИ ПОКРИТИЯ (ta-C)
Loading...
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Бургаски свободен университет
Abstract
Физичните свойства на отложени филми на въглеродна основа са силно зависими от съотношението на sp2 (графитоподобни) към sp3 (диамантоподобни) връзки. В “Subplantation model" на Lifshitz et al. и на Robertson, йони с достатъчна енергия при сблъскване проникват под повърхността на растящия филм, и увеличават местната плътност. Йоните с по-ниска енергия няма да могат да проникнат под повърхността и ще образуват sp2 връзки. Следователно структурата на отложените филми се определя главно от енергията на въздействието на въглеродните йони върху субстрата и последващия ефект на релаксация, свързан с температурата по време на отлагането. За това изследване филмите са отложени с помощта на импулсно-дъгова технология. Има ясни факти как скоростта на отлагане влияе върху нанотвърдостта и грапавостта на покритията. Установено е също така, че легиращи елементи могат значително да увеличат скороста на отлагане.