ИЗСЛЕДВАНЕ ЕФЕКТА ОТ НЕРАВНОВЕСЕН ПРОЦЕС ВЪРХУ ТРИБОЛОГИЧНИТЕ СВОЙСТВА НА ЧИСТИ И ЛЕГИРАНИ ta-C ПОКРИТИЯ ПРИ ПРИЛАГАНЕ НА ИМПУЛСНО-ДЪГОВО КАТОДНО РАЗПРАШАВАНЕ

Abstract

Свободни от водород тетрахедрални аморфни въглеродни покрития (ta C), легирани с волфрам (W) и бор (B) бяха отложени чрез специална импулсно-дъгова технология, базирана на неравновесен процес. Тяхната структура се определя глав но от енергията на бомбардиране с въглеродни йони по субстрата и последващия ефект на релаксация, свързан с температурата на покритието по време на отла гане. В допълнение, дълбочината на имплантиране е силно повлияна от ъгъла на падане на йоните. Скоростта на отлагане беше проверена за импулси с различни характеристики, както за C катоди, така и за С катоди легирани с B и W. Има ясен ефект, че скоростта на отлагане над определена прагова стойност влияе отрица телно върху твърдостта.